一、PVD涂層制備過程中的常見外表缺點(diǎn)
1、大液滴
是PVD涂層制備過程中，高能離子轟擊靶材獲得高堆積功率工況下的典型缺點(diǎn)，一般顆粒的三維尺度比較均勻，大于1.5um，是嚴(yán)重影響刀具加工精度的涂層缺點(diǎn)，對(duì)刀具的重復(fù)定位精度和加工件的外表質(zhì)量有影響。
2、結(jié)瘤與片狀凸出
是由于真空室內(nèi)的顆?；蛘呋w外表的顆粒在涂層堆積曾經(jīng)附著在基體外表，跟著堆積存在于涂層當(dāng)中，往往是較為松軟的涂層缺點(diǎn)，缺點(diǎn)的面積尺度往往大大的大于高度，在運(yùn)用中易于剝落。
3、空泛或盤形坑
PVD涂層中存在與涂層的結(jié)合不牢的外來顆粒在高應(yīng)力效果下進(jìn)行自發(fā)掉落，構(gòu)成空泛缺點(diǎn)；基體之間存在污染，在真空室冷卻時(shí)由于熱應(yīng)力效果而掉落構(gòu)成盤形坑或露出基體缺點(diǎn)。
4、針孔或氣泡
當(dāng)基體外表存在狹窄的凹坑時(shí)，涂層堆積過程中在凹坑邊優(yōu)先生長，逐漸構(gòu)成涂層針孔缺點(diǎn)，而進(jìn)行外表拋光處理時(shí)，這種缺點(diǎn)外表一層薄薄的涂層被磨掉，露出出來。氣泡是100-400nm微顆粒，真空室內(nèi)構(gòu)成片狀，當(dāng)他們穿過等離子體時(shí)能夠得到電荷，這種離子能夠到達(dá)基體外表，并且在電荷的效果下被固定在基體外表，堆積過程中構(gòu)成氣泡式缺點(diǎn)。
二、處理PVD涂層外表缺點(diǎn)的常用辦法
1、真空拋光處
真空腔體以及內(nèi)部部件的氣體放出量，和材料的外表積直接相關(guān)。固體外表的原子密度大約為2×1019 m-2，考慮到外表的高低不平，實(shí)踐的固體外表會(huì)吸附大量的氣體分子。通過拋光使外表更加平坦，能夠大大減小外表積，從而削減外表吸附的氣體分子。拋光主要有玻璃丸噴砂和電解拋光兩種手法。
2、超聲波清洗
超聲波清洗是使用超聲波在液體中的空化效果、加速度效果及直進(jìn)流效果對(duì)液體和污物直接、直接的效果，使污物層被渙散、乳化、剝離而到達(dá)清洗意圖。向液體導(dǎo)入超聲波后，液體的激烈運(yùn)動(dòng)使局部發(fā)生壓強(qiáng)差。壓強(qiáng)低的部分會(huì)發(fā)生大量的氣泡，當(dāng)壓強(qiáng)從頭升高時(shí)，這些氣泡會(huì)在瞬間決裂，從而在液體中發(fā)生沖擊波。沖擊波會(huì)將固體外表的油污剝離。超聲波清洗用的液體一般采用酒精或丙酮。通過超聲波清洗的部件放到大氣中后，酒精或丙酮會(huì)馬上蒸騰，不會(huì)在部件外表留下水垢。
